목록 본문 Equipment Monitoring System 제품설명 개 요ㆍPFK자체 개발ㆍGardeye는 높은 온도 촬영, 다각도 촬영이 가능한 카메라를 통해 연중무휴 24시간 365일 기계 내부를 촬영합니다. ㆍ하나의 컨트롤러 시스템이 여러 대의 카메라를 관리합니다.ㆍ기록은 30일 동안 보관되며, 30일 경과 시 자동으로 삭제됩니다. ㆍ제품 구성 요소 : 컨트롤러 시스템, 카메라 및 소프트웨어ㆍ(어두운 공간에는 LED 조명이 옵션) 개발 과정 Diffusion설비 웨이퍼 Loading area 에서 웨이퍼가 깨지는 사고가 빈번히 발생 → 원인 분석 으로 CCTV 방법이 논의됨. 그러나 Diffusion의 특성상 온도가 높은 이유로 CCTV camera 적용이 어려움피에프케이㈜ 에서 수많은 시행착오 끝에Furnace 설비 Loading area 촬영 가능한 카메라를 개발하여 시스템 사업화 제품 타입 Diffusion Batch Type Furnace 16 Cameras and 16 Led Light with 1 controller system with software.Single Wafer Process - Tel dry Tech 8 HD Cameras with 1 controller system with software.