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제품안내



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Equipment Monitoring System

제품설명

개   요

  • ㆍPFK자체 개발
  • ㆍGardeye는 높은 온도 촬영, 다각도 촬영이 가능한 카메라를 통해 연중무휴 24시간 365일 기계 내부를 촬영합니다. 
  • ㆍ하나의 컨트롤러 시스템이  여러 대의 카메라를 관리합니다.
  • ㆍ기록은 30일 동안 보관되며, 30일 경과 시 자동으로 삭제됩니다. 
  • ㆍ제품 구성 요소 : 컨트롤러 시스템, 카메라 및 소프트웨어
  • ㆍ(어두운 공간에는 LED 조명이 옵션)
 

개발 과정 

Diffusion설비 웨이퍼 Loading area 에서 웨이퍼가 깨지는 사고가 빈번히 발생 
 → 원인 분석 으로 CCTV 방법이 논의됨. 
그러나 Diffusion의 특성상 온도가 높은 이유로 CCTV camera 적용이 어려

피에프케이㈜ 에서 수많은 시행착오 끝에
Furnace 설비 Loading area 촬영 가능한 카메라를 개발하여 시스템 사업화





 

제품 타입 
Diffusion Batch Type  Furnace 
16 Cameras and 16 Led Light with 1 controller system with software.

Single Wafer Process - Tel dry Tech 
8 HD Cameras with 1 controller system with software.