목록 본문 Gas Diffuser / Filtration 제품설명 ㆍ 반도체 설비용 Quartz & Stainless Steal Filterㆍ 고객의 요구에 따라 크기 및 모양 설계가 가능합니다.ㆍ gas flow의 패턴을 분산시켜 Chamber내부의 particle이 가스의 흐름을 따라 움직이다 wafer 표면에 앉을 수 있는 위험성을 줄였습니다.