목록 본문 TC Wafer 제품설명 개요TC 웨이퍼는 고객이 웨이퍼 표면의 실제 온도를 측정을 가능하게 합니다. 또한 TC 웨이퍼는 반도체 산업에 특화되어 있으며 특수한 접합 기술이 적용되어 thermocouple 데이터 송신 접합부가 실리콘 웨이퍼에서 떨어지지 않습니다. 필요한 경우 실리콘 웨이퍼 뿐만 아니라 다른 재료의 웨이퍼도 선택하실 수 있으며, 그 외의 다양한 온도 측정 환경에 대해 PFK가 솔루션을 제공해드릴 수 있습니다.구조 Wafer Insulator • Ceramic Sleeve (250℃ ~ 1000℃) • Quartz(850℃ ~ 1200℃) • Teflon/Polyimide(0~250℃), Fiber glass(0~ 450℃) • Durability • Flexibility • Electric Insulation Connector Mini connector (Excellent accuracy), Pin connector • D-sub connector, banana plug, bare 사양 Wafer Number of TC Points •1~34pts, up to customer’s request T/C Type wire •K (Accuracy : 0.4% of reading) •R (0.25% reading) •S (0.25% reading) TC Wire Diameter 0.127mm (For RTP process 0.07mm is recommendable) Vacuum Feed Through Kapton Tape will insulate and project TC wire and Vacuum rate 10 to -7torrcan be available Insulation Material •Ceramic Sleeve (Max temp. 850℃) •Micro Quartz Tube(Max temp. 1,200℃) •Teflon(Max temp. 250℃) for RTP micro quartz tube is recommended Connectors Mini Plug 2pin is most popular but other options can be requested by customer