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Pomme Tech – Turnkey Solution

제품설명

 WBG 턴키





WBG 수동 턴키

  • MF-PE2000 모델 : 8” 웨이퍼용
  • MF-PE3000 모델 : 12” 웨이퍼용

 

적용 분야 (Applications)
① 온도 특성 시험: +20 °C ~ +300 °C 범위

② 초저신호 I-V 측정 (100 fA 수준)
③ 다양한 C-V 측정 (준정적 C-V, 고주파 C-V, RF C-V)
④ RF 측정 (최대 67 GHz)
⑤ 초고속 I-V 측정

확장 적용 분야 (Extend Application)


① 고전력 소자 측정
  (200A 펄스, ±3kV 트라이액셜, ±10kV 코액셜)
② 웨이퍼 레벨 신뢰성 시험
  (EM, TDDB, HCI, NBTI, BT 등)
③ 프로브 카드 지원
  (멀티사이트 WLR 지원)
④ 내장형 레이저 커터
  (포인트 마킹, 보호층 제거, 금속층 절단)
⑤ 능동 진동 절연/이미지 처리 패턴 인식을 통한 초고정밀 프로빙
  (정확도: ±1 μm 또는 그 이하)
⑥ 광전자 소자용 수광/발광 특성 평가 응용
  (LED, LD, VCSEL, PD 등)
⑦ 평판 디스플레이 소자의 공통 게이트 패드 접촉







WBG 자동 턴키

  • SF-DS8 모델 : 8” 웨이퍼 칩 소팅용
  • SF-KS12 모델 : 12” 웨이퍼 칩 소팅용

 

적용

① 고전력 테스트 영역: 10kV / 600A
② 블루 테이프 웨이퍼 프레임 확장 / 리프트 업
③ 웨이퍼 프레임 테이프 인 기능
④ 다이 픽 앤 플레이스 기능 (2개 픽커 병렬)
⑤ 교체 가능한 DC / AC 테스트 영역
⑥ 프로브 카드 장착 및 조정 영역

확장 적용

① 웨이퍼 프레임: 8인치 / 12인치
② 패키지: QFP/QFN/BGA PLCC/SOP/TSOP/BGA/PGA
③ 테스트 사이트: 2×4 (8508) / 2×2 / 1×2 / 1×4
④ 입력: 자동 로더 1대 (JEDEC 트레이)
⑤ 출력: 자동 언로더 3대, 수동 언로더 1대 (JEDEC트레이)
⑥ 온도: 상온, 고온; 옵션으로 50°C ~ 130°C
⑦ 인덱스 타임: 0.5초 (TBD)





 RF 턴키


▏RRF 턴키

  • • 소프트웨어 인프라
  • • RF 솔루션용 PXI 제품
  • • PXI 기반 RF 토탈 솔루션
  • • VCSEL (R&D 용)

▏RF 솔루션용 PXI 제품


PXI 기반 계측 시스템의 특징
  • • 유연함
  • • 확장 가능함
  • • 재구성 가능함


▏소프트웨어 인프라






테스트소켓

- 최대 20GHz 고속
- BGA, LGA,CSP, QFN, TQFP
- 피치 최하 0.2mm
- ATE,SLT, 양산 테스트
- 플로팅 가이드 가능
- -50 ~ 150°C


프로브 카드 디자인

- 최대 40GHz 주파수
- WLCSP, 범핑, 골드 또는 알루미늄 패드
- 최소 피치 50µm
- 싱글,듀얼,쿼드 사이트
- ATE 양산 테스트
- 온도 -50 ~ 150°C


순수 디지털 테스터

- RF MIPI용
- MIPI 속도 56MHz
- 쿼드 사이트 완전 병렬 테스트
- UF2000연동 MP지원
- 케이블 마운트 (소프트 도킹)
-웨이퍼 맵, 비닝, 원시 데이터 서버 자동 업로드 등


필터 테스터

- 최대 26GHz 주파수
- 완전 자동 보정(ISS)
- 듀얼 /쿼드 사이트 완전 병렬 테스트
- 케이블 마운트 (소프트 도킹)
- 웨이퍼 맵, 비닝, 원시 데이터 서버 자동 업로드


SAW 필터 테스터

- 최대 6GHz 주파수
- 완전 자동 보정(ISS)
- 듀얼 /쿼드 사이트 완전 병렬 테스트
- 다이렉트 마운트 (하드 도킹)
- 웨이퍼 맵, 비닝, 원시 데이터 서버 자동 업로드




▏VCSEL(for R&D)





 IFSM Turnkey




IFSM 3000A 다이오드 서지 전류 테스터는
- 다이오드 서지 전류 테스트를 제공하고,
- 10μs 펄스 폭에서 최대 3000A의 서지 전류 시험이 가능하며,
- 추가로 100μs 및 1ms 펄스 폭도 가능하여,
총 3가지 모드를 지원합니다.



 Flex T&M 측정 및 분석 소프트웨어




패널 자동화 측정 분석



인라인 자동 테스트 프로그램

• 인라인 자동 공정 TEG 테스트 실행용
• 인라인 자동 측정 공정 레시피 설정
• 시험 항목: FPD TFT IV (IdVg / IdVd),CV, 켈빈 테스트(R4T) 등
• 측정 리포트를 .csv 파일로 저장
• 프로버 통신 지원





웨이퍼-레벨 계측 분석



Flex TM 버전 1.6은 POMME의 최신 측정 소프트웨어입니다.
본 소프트웨어는 FPD, RDL 및 4PP 등과 같은 다양한 측정 요구 사항을 지원합니다.
빠른 파라미터 설정과 간편한 사용성을 제공하여 측정에 소요되는 전체 시간을 효과적으로 단축할 수 있습니다.




RDL 테스트용 Flex-T&M 자동 모드


• 인라인 자동 공정 RDL 테스트 실행용
• 시험 항목 : 웨이퍼 범핑 누설 및 저항
• 측정 리포트를 .csv 파일로 저장
• 프로버 통신 지원
Flex-T&M 수동


• 디바이스 특성의 신속한 점검용
• 인라인 자동 측정 공정 레시피 설정 (옵션)
• 측정 리포트를 .csv 파일로 저장
• 시험 항목 :
- 웨이퍼 범핑 누설 전류 & 저항
- FPD TFT IV (IdVg/IdVd)
- CV
- 켈빈 테스트(R4T) 등

4PP 반자동 테스트용 Flex-T&M


• 반자동 프로버 4포인트 프로브(4PP) 시트 저항 측정용
• 웨이퍼 맵 신속 생성
• TCR 측정
• 전체 웨이퍼 테스트 결과 2D/3D 맵 표시
• 측정 리포트 .csv 파일로 저장
• 프로버 통신 지원

제어 가능한 장비


• Keithley 6430, 2400, 2600, 2182 등
• Keysight B1500A, E5270B, 3458A, E4980A 등