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제품설명

 

 
개발배경

 

ㆍ 반도체 증착 장비에서 Wafer를 생산하는 과정 중 진공 쳄버의 요구 진공압력을 정밀하고 빠르게 제어가 필요한 공정 입니다. 
ㆍ 이중  중요한 역할을 하는 APC 밸브이며  APC 밸브는 기존 일본 제품으로 국산화가 안되어  외산 제품에만 독점 의존하고 있었다.  
ㆍ 2019년 APC 국산화 개발 START 하여  국내 최초 APC VALVE 국산화 성공  성능평가를  삼성전자 , SK하이닉스 , 원익IPS 社 검증 완료.

제품 장점


1. APV Valve / Controller 호환성
- 개발 Concept : C** / MST 제품의 상호 호환 가능할 것  : Install or Control performance
- MST가 개발 한 저속형 및 고속형  Valve & Controller는 BM사와 모두 호환 가능


2. 원가 절감 (약 20% 이상 감소)

 - APC VALVE 저속형 , 고속형 Spare 用 신규구매  원가 절감

 - 기존 Maker 수리비 절감 ( 정품 → 국산화 호환 가능품)


3.  밸브 개조 개선

- 기존 Position Sensor 접촉 → 비접촉형 변경

- C社 Board Fail 시 국산화 적용 (C社 정품 → 대체품 적용 원가 절감)

- 벨브 Body 부식방지 Coating 적용 SCACF 코팅 (Re Coating 가능)

- 고객 사양에 맞춤 개조 개선


4. 납기 단축 

- 긴급 납기 대응 가능

- 납기 4 ~ 6주


5. 수 리

- 국산화 제품 수리 진행

- 부품 호환품 수리 (원Maker 고가 수리비용 Cost Down )

   → Board ,서보 Valve , Bellows…

- 고속형 Valve 수리 가능

- C社 Board  → 대체품 변경 가능



타사 제품과 Pressure Control 비교

 

Position Control

 
Slow Vacuum Control

Pressure Control-P1 압력 변화 Control



Pressure Control-P1 압력 변화 Control – Cycle Test