목록 본문 제품설명 개발배경 ㆍ 반도체 증착 장비에서 Wafer를 생산하는 과정 중 진공 쳄버의 요구 진공압력을 정밀하고 빠르게 제어가 필요한 공정 입니다. ㆍ 이중 중요한 역할을 하는 APC 밸브이며 APC 밸브는 기존 일본 제품으로 국산화가 안되어 외산 제품에만 독점 의존하고 있었다. ㆍ 2019년 APC 국산화 개발 START 하여 국내 최초 APC VALVE 국산화 성공 성능평가를 삼성전자 , SK하이닉스 , 원익IPS 社 검증 완료.제품 장점1. APV Valve / Controller 호환성- 개발 Concept : C** / MST 제품의 상호 호환 가능할 것 : Install or Control performance- MST가 개발 한 저속형 및 고속형 Valve & Controller는 BM사와 모두 호환 가능2. 원가 절감 (약 20% 이상 감소) - APC VALVE 저속형 , 고속형 Spare 用 신규구매 원가 절감 - 기존 Maker 수리비 절감 ( 정품 → 국산화 호환 가능품)3. 밸브 개조 개선- 기존 Position Sensor 접촉 → 비접촉형 변경- C社 Board Fail 시 국산화 적용 (C社 정품 → 대체품 적용 원가 절감)- 벨브 Body 부식방지 Coating 적용 SCACF 코팅 (Re Coating 가능)- 고객 사양에 맞춤 개조 개선4. 납기 단축 - 긴급 납기 대응 가능- 납기 4 ~ 6주5. 수 리- 국산화 제품 수리 진행- 부품 호환품 수리 (원Maker 고가 수리비용 Cost Down ) → Board ,서보 Valve , Bellows…- 고속형 Valve 수리 가능- C社 Board → 대체품 변경 가능타사 제품과 Pressure Control 비교 - Position Control - Slow Vacuum Control- Pressure Control-P1 압력 변화 Control- Pressure Control-P1 압력 변화 Control – Cycle Test