목록 본문 Wasco switch 제품설명 UHP 가스 취급 요구사항 ▪ 반도체 제조 공정의 발전에 따라 초순도 (UHP)의 가스가 요구됨 - 순도: 99.999% 이상 - 압력과 유량의 정밀 조정이 필요해짐. - 오염 발생을 피해야 함. ↓ ▪ 가스 공급 장치 및 부품 요구 사양 - 부식및 오염 발생 차단 - 최고 순도의 재질 사용 - 최고 수준의 내부 표면 상태 - 최적 연결 장치 - SEMI E49 규격 - 안전도 - 정확도와 시스템 안정성 유지 UC8/UC9 시리즈 ▪ Absolute Reference 와 Gauge Reference ▪ 최고 수준의 부식방지성 - SEMI F20 규격 316L SUS 재질 - Elgiloy 특수 합금 다이아프램 ▪ 5 Ra 표면 퀄리티 ▪ 분리 가능한 M8 규격 코넥터▪ 광범위한 성능및 안정성 시험 - 안정성 시험: 2,000,000 싸이클 이상 - 누출도 시험: 1 x 10-9 cc/sec He - Proof and Burst 압력 시험 - 가동및 보관 온도 시험 - 부식성 시험: ASTM CPT Test 규격 - 청정도 시험: ASTM Particle Count 규격 UHP 150/160 시리즈 ▪ Gauge Reference ▪ All welded SUS 재질 ▪ Capsule타입 센서 : 2개의 다이아프램 용접된 구조 ▪ 하부의 다이아프램 본체에 직접 용접되어 누출 방지. ▪ 본체 : SUS 316 ▪ 다이아프램 : SUS 17-7 ▪ 열처리 ▪ 반도체 장비에 수십년간 사용됨 - 체임버 압력 스위치 성능시험 ▪내구성 평가 - 기능 시험: 2,000,000 회 이상 - 내구성 시험 100,000회 당 성능 시험 시행 ▪온도 검사 - 가동 온도 검사 ( -20⁰ to 60⁰ C) - 보관 온도 검사 (-40⁰ C to 100⁰ C) ▪He 누출 검사 (내부침투 / 외부누출) ▪압력 검사 (Proof 압력 / Burst 압력) ▪기능 검사 (선형도 / 정확도) ▪부식 방지성 검사 DPM 반도체 제조 시스템 차압 모니터 위험한 가스를 취급하는 반도체 제조 시스템은 가스 누출을 방지하기 위해 인클로저 내부의 압력 이 외부보다 반드시 낮게 유지되어야 합니다. 차압은 0.5 inWC와 1.0 inWC 사이로 유지되며,일반적인 값은 0.75 inWC입니다. 이는 SEMI S2 반도체 제조 장비환경, 건강 및 안전 지침 에 따른 필수 안전 요구 사항입니다.Wasco 의 DPM 시리즈 차압 모니터는 차압을 지속적으로 모니터링하고, 설정된 범위를 벗어난 경우 알람을 제공합니다.강력한 설계와 구조, 컴팩 트한 크기, 자가 진단 기능 및 사용자 친화적인 인 터페이스를 갖춘 DPM 차압 모니터는 고급 반도체 제조 시스템에 최적의 선택입니다. 사 양 ▪ 압력 범위: 0 – 10 inWC. 각 특정 압력 범위에 맞는 ▪각기 다른 모델 적용 가능▪알람 설정 범위: 압력 범위의 5 - 95%▪정확도: +/- 1% @ 0 - 40°C▪입력 전원 : 12 – 24 VDC▪전기 연결: 9핀 DSUB 또는 터미널 블록▪압력 판독 출력: 0 – 10 VDC 또는 4 – 20 mA▪알람 출력: 건식 접점 1A @ 30 VDC 저항성▪알람 지연: 1, 10, 20, 30초 사용자 선택 가능▪압력 연결: 0.17” ID 바브형 튜브▪매체: CDA, N2, 불활성 가스▪작동 온도: 0 - 40°C▪크기: 45mm x 45mm x 100mm, 1/16 DIN 43700